文献类型：期刊文章

作　　者：卞玉民[1] 胡英杰[2] 李博[1] 徐淑静[1] 杨拥军[1]

BIAN Yumin;HU Yingjie;LI Bo;XU Shujing;YANG Yongjun(The 13 th Research Institiute,CETC,Shijiazhuang 050051,China;MT Microsystems Co.,Ltd,Shijiazhuang 050299,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051 [2]河北美泰电子科技有限公司,河北石家庄050299

出　　处：《计测技术》

年　　份：2019

卷　　号：39

期　　号：4

起止页码：50-56

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：自上世纪90年代以来,针对MEMS惯性器件的研究越来越多,MEMS惯性传感器开始得到广泛的商业应用。本文对部分MEMS惯性传感器国内外的新近研究成果进行了分类与归纳,分别对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪和微惯性测量组合以及惯性微系统进行了研究与分析。对MEMS惯性传感器发展趋势进行了初步推断,认为未来MEMS惯性传感器的发展主要有四个方向:高精度,以满足日益精细化、智能化的应用需求;微型化,以实现便携、分布式应用要求;高集成度,以完成多种功能高密度组合;适应性强,以适应复杂应用环境,拓宽应用范围。

关 键 词：MEMS 惯性  传感器 现状  趋势  

分 类 号：TB9]