文献类型：期刊文章

作　　者：马敬[1,3] 齐月静[2,3] 卢增雄[2,3] 苏佳妮[2] 杨光华[2,3] 齐威[2] 张清洋[2] 陈进新[2]

Ma Jing;Qi Yuejing;Lu Zengxiong;Su Jiani;Yang Guanghua;Qi Wei;Zhang Qingyang;Chen Jinxin(Academy of Opto-Electronics , Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China;Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China;School of Optoelectronics, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)

机构地区：[1]中国科学院光电研究院,北京100094 [2]中国科学院微电子研究所,北京100029 [3]中国科学院大学光电学院,北京100049

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家重大科技专项(2009ZX02205-007)

年　　份：2019

卷　　号：46

期　　号：7

起止页码：211-217

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,选择3种色散物镜用玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A,并结合像差理论设计了由3个单透镜和2个双胶合透镜组合成的线性色散物镜初始结构。利用Zemax光学设计软件对色散物镜的初始结构进行优化和公差分析。结果表明:在450~650 nm波长范围内,各波长弥散斑均远小于艾里斑,色散物镜测量范围可达1.05 mm,轴向色散与波长之间的线性判定系数R^2达0.997,理论分辨率可达105 nm。

关 键 词：光学设计 光谱共焦位移传感器  色散物镜  线性度 公差分析

分 类 号：TH741] O439[仪器类]