文献类型：期刊文章

作　　者：陈晨[1] 王红军[1] 王大森[2] 田爱玲[1] 刘丙才[1] 朱学亮[1] 刘卫国[1]

Chen Chen;Wang Hongjun;Wang Dasen;Tian Ailing;Liu Bingcai;Zhu Xueliang;Liu Weiguo(Shaanxi Province Key Laboratory of Membrane Technology and Optical Test,School of Optoelectronic Engineering,Xi′an Technological University,Xi'an,Shaanxi 710021,China;The Ningbo Branch of Ordnance Science Institute of China,Ningbo,Zhejiang 310022,China)

机构地区：[1]西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710021 [2]中国兵器科学院宁波分院,浙江宁波310022

出　　处：《中国激光》

基　　金：总装备部项目(JCKY2016208A001);科技部国际合作项目(2015DFA10360);激光与物质相互作用国家重点实验室基金(SKLLIM1703)

年　　份：2019

卷　　号：46

期　　号：4

起止页码：174-182

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种基于稀疏矩阵的表面疵病快速拼接方法。该方法采用环形白光光源均匀地照射到被测元件表面,光经显微散射暗场成像系统后形成暗背景下的亮疵病图像。通过对光学元件的x,y方向进行扫描,得到子孔径拼接图像。基于稀疏矩阵和图像拼接,对子孔径图像进行快速拼接,得到全孔径疵病图像。基于最小外接矩形原理,对图像疵病进行识别和分类,最终得到7个光学元件表面疵病划痕,其最大长、宽分别为15.2110 mm和0.0297 mm;麻点有5个,其最大长、宽分别为0.1089 mm和0.0967 mm。将测量得到的划痕宽度与标准划痕宽度进行对比,得到划痕宽度的相对误差范围为-5.00%～5.50%。在此基础上,对实际的光学表面进行检测,得到光学元件表面疵病信息。

关 键 词：测量  疵病检测  显微散射暗场成像  图像拼接 稀疏矩阵  疵病识别  

分 类 号：TH741]