文献类型：期刊文章

作　　者：杨凯[1] 秦中立[1] 艾骏[1] 刘建国[1] 曾晓雁[1]

YANG Kai;QIN Zhongli;AI Jun;LIU Jianguo;ZENG Xiaoyan(Functional Laboratory of Laser and Terahertz Technology, Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China)

机构地区：[1]华中科技大学武汉光电国家研究中心激光与太赫兹技术功能实验室,武汉430074

出　　处：《激光技术》

基　　金：国家自然科学基金面上资助项目(51775209)

年　　份：2019

卷　　号：43

期　　号：2

起止页码：246-250

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2019_2020、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了实现玻璃表面的金属化,运用激光诱导等离子体沉积技术,选用廉价易维护且波长为1064nm的红外纳秒光纤激光和T2铜靶材,在透明材料普通硅酸盐玻璃表面直接沉积出了金属铜,并对其进行了光学显微镜和扫描电镜表征。结果表明,在一定的激光能量密度范围内(沉积阈值能量密度12.50J/cm^2～激光器所能达到的最大能量密度27.13J/cm^2),随着激光能量密度的增加,沉积在玻璃表面的铜颗粒数量增加;而在激光能量密度一定(27.13J/cm^2)的条件下,若保持激光光斑的横向和纵向搭接率一致,当光斑搭接率不小于50%时,由于玻璃对激光的强烈吸收,导致铜沉积失败;当光斑搭接率在-20%～50%变化时,沉积在玻璃表面的铜颗粒数量呈现先增加后减小的变化趋势。激光诱导等离子体沉积技术是一种可实现透明衬底材料表面金属化的便捷技术。

关 键 词：激光技术 激光诱导等离子体沉积  纳秒光纤激光  铜沉积层  铜图案  

分 类 号：TN249]