文献类型：期刊文章

作　　者：马云[1] 陈磊[2] 刘一鸣[2] 朱文华[2]

MA Yun;CHEN Lei;LIU Yi-ming;ZHU Wen-hua(Advanced Launch Corporative Innovation Center,Nanjing University ofScience and Technology,Nanjing 210094,China;School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University ofScience and Technology,Nanjing 210094,China)

机构地区：[1]南京理工大学先进发射协同创新中心,江苏南京210094 [2]南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家重点研发计划资助项目(No.2017YFF0107103)

年　　份：2018

卷　　号：26

期　　号：12

起止页码：2873-2880

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测,设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息,实现缺陷的瞬态测量。利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应,总结了有效的缺陷类型辨别方法。实验检测了强激光系统中的一块光学平晶,验证了所提缺陷类型判据的正确性。此外,采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,相对误差为2.1%。结果表明,该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷。

关 键 词：干涉测量  瞬态测量  点衍射  位相缺陷  无镜成像  

分 类 号：O436.1] TH744.3]