文献类型：期刊文章

作　　者：沈冯峰[1,2] 徐学科[1,3] 高文兰[3] 于浩海[4] 张龙[1] 邵建达[1,2]

SHEN Feng-feng;XU Xue-ke;GAO Wen-lan;YU Hao-hai;ZHANG Long;SHAO Jian-da(Key Laboratory of Materials for High Power Laser,Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;Shanghai Hengyi Optics and Fine Mechanics Co.,Ltd,Shanghai 201800,China;State Key Laboratory of Crystal Materials,Shandong University,Jinan 250100,China)

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海201800 [2]中国科学院大学,北京100049 [3]上海恒益光学精密机械有限公司,上海201800 [4]山东大学晶体材料国家重点实验室,山东济南250100

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：科技部增材制造与激光制造重点专项(No.2016YFB1102300)

年　　份：2018

卷　　号：26

期　　号：10

起止页码：2407-2414

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：Yb∶LuScO_3晶体作为固体激光器的新型增益介质,其面形和表面质量严重影响激光器的光束质量,因此探索Yb∶LuScO_3晶体的超精度光学加工工艺参数具有重要意义。本文系统开展了Yb∶LuScO_3晶体超精密光学加工的工艺参数研究,针对Yb∶LuScO_3晶体在加工过程中容易破裂和表面质量较差的问题,提出了拼接上盘和树脂铜盘抛光垫的关键技术。首先,使用COMSOL Multiphysics有限元软件对拼接工艺中选取的不同保护垫料的应力进行仿真。接着,研磨阶段逐步减小B_4C磨料的粒径。然后,粗糙阶段使用树脂铜盘作为抛光垫,并对树脂铜盘抛光垫的作用进行了分析。最后,使用激光二极管泵浦加工好的样品进行激光输出实验。实验结果表明:基于该技术加工后的晶体表面粗糙度RMS=0.296 nm,面形精度PV=53 nm。在1 086 nm处获得了8.3 W的连续激光输出,斜效率为58%。该加工方法可以广泛应用于Yb∶LuScO_3晶体的高精度加工。

关 键 词：光学加工 Yb∶LuScO3  表面面形  表面粗糙度 树脂铜盘  

分 类 号：O614.346] TG580.692[化学类]