文献类型：期刊文章

作　　者：李彦锋[1] 杨志军[1] 孙晗[1] 张炫山[1] 熊少旺[1] 李乾[1]

LI Yan-feng;YANG Zhi-jun;SUN Han;ZHANG Xuan-shan;XIONG Shao-wang;LI Qian(Guangdong Provincial Key Laboratory of Micro-Nano Manufacturing Technology and Equipment, School of Electromechanical Engineering,Guangdong University of Technology,Guangzhou 510006,China)

机构地区：[1]广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室,广州510006

出　　处：《光子学报》

基　　金：The National Natural Science Foundation of China(No.91648108);the National key Research and Develop Program of China(No.2017YFF0105902);Guangdong Natural Science Foundation(No.2015A030312008);Guangdong Science and Technology Plan(No.2015B010104006)

年　　份：2018

卷　　号：47

期　　号：10

起止页码：166-173

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为适应微电子制造装备中精密位移反馈装置的要求,提出并设计了一种新型宏微复合光栅尺测量系统.测量系统采用LabVIEW虚拟仪器系统高速采集图像数据,通过图像处理算法对放大后的光栅栅纹进行边界处理,将其细化为线再转化为像素点,并补偿运动过程中的微量位移来提高精度.实验结果表明:电机速度为1mm/s,行程为100mm内时,该系统产生的位移误差可控制在1.5μm内,分辨率可达0.275μm.与传统光栅尺测量中需对莫尔条纹进行电子细分相比,本测量系统可以有效消除光栅尺破损、污染、倾斜、光源不稳定等干扰给测量带来的影响,同时保持微米级别的测量精度,特别适用于敞开式光栅尺长行程的测量领域.

关 键 词：精密测量  宏微复合  数字图像 光栅尺 莫尔条纹 虚拟仪器 位移测量  

分 类 号：TH74] TP216[仪器类]