文献类型：期刊文章

作　　者：钱佳立[1] 陆惠宗[1] 袁巨龙[1] 吕冰海[1] 陈士豪[1]

QIAN Jia-li;LU Hui-zong;YUAN Ju-long;LYU Bing-hai;CHEN Shi-hao(Ultra-precision Machining Center,Zhejiang University of Technology,Hangzhou 310014,China)

机构地区：[1]浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州310014

出　　处：《表面技术》

基　　金：浙江省科技厅公益技术应用研究项目(2015C31053);浙江省科技厅公益技术应用研究项目(2016C31042);国家自然科学基金项目(U1401247)~~

年　　份：2018

卷　　号：47

期　　号：10

起止页码：309-314

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：目的实现球体表面微小缺陷的非接触式检测。方法基于激光散射和剪切干涉的光学原理,设计了适用于微小缺陷检测的光路系统,搭建了可适用于不同直径球体检测的精密可调节检测光路系统平台,通过对标定板的检测及重复性实验,确定光路系统的检测精度。采用高精度气浮主轴搭建了精密可调节的球体运动平台,通过对直径20 mm的G5级高精度氮化硅陶瓷球的检测实验,以及通过对一半抛光一半未抛光直径20 mm轴承钢球体的检测对比实验,验证光路实验平台对于球体表面微小缺陷检测的可行性。结果标定板上4μm宽、63 nm高的条纹的剪切干涉信噪比为8∶1,具有相对较高的信噪比。G5级高精度氮化硅陶瓷球的检测试验以及一半抛光一半未抛光轴承钢球体检测的对比实验,验证了该光路实验平台中,激光散射可灵敏地检测较深的微米级缺陷,剪切干涉可灵敏地检测较浅的微米级缺陷。结论基于光学原理搭建的球体表面微小缺陷检测平台,可以实现对球体表面微米级别缺陷的检测。

关 键 词：轴承球体  激光散射 剪切干涉 表面缺陷  光学检测

分 类 号：O436]