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激光干涉仪原理与应用研究
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]渭南师范学院数理学院,陕西渭南714099
基 金：陕西省军民融合基金研究项目(16JMR04);渭南师范学院院级科研项目(17YKF05)
年 份：2018
期 号：20
起止页码：9-9
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：激光干涉仪已成为精密机床线性测量与补偿的基准,本文以雷尼绍ML10激光干涉仪线性测量为例,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系。叙述了环境因素对测量因素的影响,针对具体线性测量指出其定位精度和重复定位精度计算公式。并指出了在测量过程中应注意的问题。
关 键 词：激光干涉仪 线性测量 波长 补偿 定位精度
分 类 号：TH744.3]
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