文献类型：期刊文章

作　　者：王宾[1,2,3] 李孟委[1,2,3] 吴倩楠[3,4] 耿浩[1,3] 王高[3]

WANG Bin;LI Meng-wei;WU Qian-nan;GENG Hao;WANG Gao(Science and Technology on Electronic Test&Measurement Laboratory,North University of China,Taiyuan 030051,China;School of Instrument and Electronics,North University of China,Taiyuan 030051,China;Center for Microsystem Intergration,North University of China,Taiyuan 030051,China;School of Science,North University of China,Taiyuan 030051,China)

机构地区：[1]中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西太原030051 [2]中北大学仪器与电子学院,山西太原030051 [3]中北大学微系统集成研究中心,山西太原030051 [4]中北大学理学院,山西太原030051

出　　处：《仪表技术与传感器》

基　　金：国家自然科学基金项目(61573323)

年　　份：2018

期　　号：4

起止页码：6-9

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2017_2018、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结果表明:这2种双层纳米光栅结构的0级透射光和反射光的衍射效率随第二层纳米光栅结构的位移移动量周期性变化,通过探测纳米光栅的衍射效率来获得面内或者离面的位移移动量。

关 键 词：位移传感器 高精度  纳米光栅  严格耦合波理论 衍射效率 仿真

分 类 号：TP212]