文献类型：期刊文章

作　　者：乔静[1] 谢生[1] 毛陆虹[2] 丛佳[2] 董威锋[1]

QIAO Jing;XIE Sheng;MAO Lu-hong;CONG Jia;DONG Wei-feng(Tianjin Key Laboratory of Imaging and Sensing Microelectronic Technology,School of Microelectronics,Tianjin University,Tianjin 300072,China;School of Electrical and Information Engineering,Tianjin University,Tianjin 300072,China)

机构地区：[1]天津大学微电子学院天津市成像与感知微电子技术重点实验室,天津300072 [2]天津大学电气自动化与信息工程学院,天津300072

出　　处：《发光学报》

基　　金：国家自然科学基金(61474081;11673019)资助项目~~

年　　份：2018

卷　　号：39

期　　号：3

起止页码：363-368

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对可见光通信对硅基光电探测器高响应度的要求,本文利用亚波长金属光栅的异常光学透射现象,提出一种增强与硅基CMOS工艺兼容的金属-半导体-金属光电探测器吸收的方法。采用时域有限差分法,详细分析了光栅周期、光栅高度和狭缝宽度对探测器吸收性能的影响,证明了类法布里-珀罗共振和表面等离子体激元是吸收增强的物理起源。对于波长615 nm的红光通信而言,探测器金属光栅的最佳周期、最佳高度和最佳狭缝宽度分别为580,91,360 nm。与没有亚波长金属光栅结构的探测器相比,本文设计的探测器吸收系数提高了32%。本文研究的MSM探测器结构与CMOS工艺完全兼容,有望在可见光通信芯片中得到实际应用。

关 键 词：可见光通信 光电探测器 亚波长金属光栅  吸收增强  类法布里-珀罗共振  表面等离子体激元

分 类 号：TN202]