文献类型：期刊文章

作　　者：刘家骁[1] 代清平[1] 邓朝勇[1]

LIU Jiaxiao;DAI Qingping;DENG Chaoyong(Key Laboratory of Functional Composite Material of Guizhou Province,College of Big Data and Information Engineer,Guizhou University,Guiyang 550025,China)

机构地区：[1]贵州大学大数据与信息工程学院,贵州省电子功能复合材料特色重点实验室,贵州贵阳550025

出　　处：《贵州大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金项目(51462003,51762010)

年　　份：2018

卷　　号：35

期　　号：1

起止页码：21-26

语　　种：中文

收录情况：ZGKJHX、普通刊

摘　　要：采用激光脉冲沉积方法在SiO_2衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,X射线衍射分析(XRD)薄膜呈现六角形结构的c轴取向,掺杂后的氧化锌电阻率有明显的下降,并且在可见光区域有很高的透过率,通过椭偏仪测量并拟合了薄膜其它光学性质。用Tauc-Lorentz色散模型表征了不同掺杂浓度的薄膜的折射率和消光系数,随着掺杂浓度升高透射光谱的吸收边向短波长移动,这与所拟合得到的带隙展宽相符。通过采用溶胶凝胶法(Sol-gel)制备了(Pb_(0.9)La_(0.1))(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PLZT)薄膜,并且制备了在PLZT薄膜沉积AZO形成AZO/PLZT的复合薄膜,通过电子显微镜观测了复合薄膜的表面形貌和截面结构,当电场强度为300 k V/cm时,测试复合薄膜铁电性时得到清晰的电滞回线,这为铁电薄膜晶体管的制备提供了可行性。

关 键 词：椭偏仪 氧化锌 铁电性能 激光脉冲沉积法  

分 类 号：TB33[材料类]