文献类型：期刊文章

作　　者：翟珊[1] 顾昌林[1] 冯吉军[1] 卢红亮[2]

ZHAI Shan;GU Changlin;FENG Jijun;LU Hongliang(Shanghai Key Laboratory of Modern Optical System,School of Optical-Electrical and Computer Engineering,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China;State Key Laboratory of ASIC and System,School of Microelectronics,Fudan University,Shanghai 201203,China)

机构地区：[1]上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市现代光学系统重点实验室,上海200093 [2]复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室,上海201203

出　　处：《计测技术》

基　　金：国家自然科学基金(11774235;61705130);上海市自然科学基金(172R1443400);复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室开放课题资助项目

年　　份：2018

卷　　号：38

期　　号：1

起止页码：9-16

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：近年来随着传感器在生物探测领域的应用,提高传感器芯片的灵敏度成为研究的热点。利用氮化硅微腔灵敏度高、成本低、易于集成的优点,设计制造了1550 nm波长下二维、三维结构品质因子分别为1.6×104和4×103的悬空耦合传感器芯片,并详细研究了集成氮化硅微腔光学传感芯片在折射率测量方面的应用。

关 键 词：集成光子芯片  微环谐振腔 氮化硅 光学传感器 悬空结构  

分 类 号：TB9] TP212.14]