文献类型：期刊文章

作　　者：丁雷[1,2] 袁昊[1] 李炜[1]

DING Lei;YUAN Hao;LI Wei(School of Environmental & Materials Engineering, Shanghai Polytechnic University, Shanghai 201209, P. R.China;Shanghai JuLang Environmental Protection Technology Development Co., Ltd,Shanghai 201712, P. R. China)

机构地区：[1]上海第二工业大学环境与材料工程学院,上海201209 [2]上海巨浪环保科技发展有限公司,上海201712

出　　处：《上海第二工业大学学报》

基　　金：国家自然科学基金项目(No.51678353);上海市自然科学基金项目(No.15ZR1416800);浦东新区科技发展基金(No.PKJ2015-C07&PKJ2015-C14);上海第二工业大学培育学科(No.XXKPY1601)资助

年　　份：2016

卷　　号：33

期　　号：4

起止页码：289-294

语　　种：中文

收录情况：ZMATH、普通刊

摘　　要：利用介孔材料MCM-41作为石英晶体微天平(Quartz Crystal Micro-Balance,QCM)质量型传感器的湿敏材料来构建湿度传感器。采用X-ray、SEM、BET等对样品的结构和形貌进行了表征和分析,并系统研究了其湿敏性能。结果表明,该湿度传感器具有湿度量程大(1%～100%RH)、灵敏度高、稳定性好、湿滞小、易于集成化等优点。

关 键 词：介孔材料 MCM-41薄膜  石英晶体微天平 湿度传感器  

分 类 号：TP212]