期刊文章详细信息
Ti-Al-N沉积态薄膜的制备
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]长春理工大学光电信息学院机电工程分院 [2]长春工业大学材料科学与工程学院,长春130012
年 份：2016
期 号：18
起止页码：47-47
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文以06Cr18Ni9不锈钢作为基体材料,采用多弧离子镀进行Ti-Al-N沉积态薄膜的制备,并研究了多弧离子镀对Ti-Al-N沉积态薄膜表面形貌的影响。研究表明:当氮气通量为40sccm时,Ti-Al-N薄膜膜层表面的大颗粒消失,凹坑变得浅而平整均匀,但当氮气通量超过40sccm时,表面大颗粒反而变多而且分布不均匀,沉积的膜层表面相对较粗糙。
关 键 词：Ti2AlN薄膜 多弧离子镀 表面形貌
分 类 号：TQ134.11] TB383.2[材料类]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
