文献类型：期刊文章

作　　者：杨飞[1] 高爱华[1] 刘卫国[1] 秦文罡[1]

Yang Fei;Gao Aihua;Liu Weiguo;Qin Wengang(Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Film Technology and Optical Inspection,School of Optoelectronic Engineering,Xi’an Technological University,Xi’an 710021,China)

机构地区：[1]西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安710021

出　　处：《电子测量技术》

基　　金：国防科工局(JCKY2016208A001)项目资助

年　　份：2019

卷　　号：42

期　　号：4

起止页码：110-116

语　　种：中文

收录情况：JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：反射镜表面疵病散射直接影响光学测试系统的性能、精度等多项重要指标。反射镜表面疵病的散射量可借助激光散射显微镜进行检测,为了保证整个系统的检测效率及精度要求,在硬件系统的设计上,设计显微物镜镜头、计算光斑的大小及CCD的功率谱响应;在软件系统的设计上,利用软件编写激光散射显微成像测试系统软件,能利用步进电机对反射镜表面进行扫描,同时控制图像采集卡采集图像并保存,重点研究如何快速有效地对采集到的子孔径图像进行精确配准,为后续图像的拼接处理奠定基础。通过分析整个测试系统的精度,×20倍率下能够分辨5～10μm疵病。

关 键 词：激光散射 显微成像 图像配准 拼接处理  

分 类 号：TP391.41]