文献类型：期刊文章

作　　者：张倩[1]

Zhang Qian(Beijing Institute of Science and Technology Information,Beijing 100009,China)

机构地区：[1]北京市电子科技情报研究所,北京100009

出　　处：《电子测量技术》

年　　份：2019

卷　　号：42

期　　号：2

起止页码：28-32

语　　种：中文

收录情况：JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：集成电路设备处于集成电路产业链的上游,是整个产业的重要环节。打造国内技术先进、安全可靠的装备产业体系具有产业链自主可控的战略意义。集成电路装备是一个拥有极高技术门槛的行业,致使整个行业被美国、日本和荷兰的少数巨头高度垄断。从分析厂商整体情况、技术现状以及研发投入等差距入手,进而发现我国集成电路装备产业存在国产设备销售进度依赖性强、国产设备与大尺寸晶圆片生产线未有效结合、封测设备严重依赖进口等问题。并结合产业实际发展情况,分析当前面临的形势与挑战,对中国集成电路装备产业在此背景下的发展做出建议。

关 键 词：集成电路 装备制造业 工艺设备  检测设备  极紫外光刻 国产化

分 类 号：F426.63]