期刊文章详细信息
SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现
Structure Design and Process Implementation of Micro-acceleration Sensor Based on SOI
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]军械工程学院火炮工程系 [2]71345部队
年 份：2008
卷 号：0
期 号：6
起止页码：26-27
语 种：中文
收录情况：SCOPUS、普通刊
摘 要：设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现。研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据。
关 键 词：高温 抗冲击 微加速度传感器 SOI
分 类 号：TP212]
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