文献类型：期刊文章

作　　者：王承遇[1] 史非[1] 任春生[2] 汤华娟[3] 陶瑛[1] Wang Paul W[4]

机构地区：[1]大连工业大学,辽宁大连116034 [2]大连理工大学,辽宁大连116024 [3]大连正彩玻璃制品有限公司,辽宁大连116001 [4]Bradley University

出　　处：《稀有金属材料与工程》

年　　份：2012

卷　　号：41

期　　号：S3

起止页码：326-330

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用溶胶-凝胶法制备了TiO_2薄膜,对经针状电极预电离产生的非平衡大气压氧等离子体射流净化该TiO_2膜进行了研究。用水接触角、表面形貌和X射线光电子能谱检测了氧等离子体与薄膜的相互作用。在氧等离子体和薄膜相互作用2 min后,经XPS观察到新的Sn3d与Nl s峰,但没有Ti3p信号,这说明经2min等离子体处理后,50nm厚的TiO_2薄膜已被除去。而涂有油和硬脂酸污染物的膜,经1min等离子体处理后,Ols和Ti3p信号没有改变。水接触角的减少和表面形貌的光滑可视为污染物的去除。从大气压氧等离子体中激发态氧能有效地除去污染物,证明这是清洗TiO_2膜上污染物的新途径。

关 键 词：大气压氧等离子体  溶胶-凝胶TiO2膜  膜的清洁  

分 类 号：TB383.2[材料类]