文献类型：期刊文章

作　　者：佟欣儒[1] 赵卓[1] 周艳文[1]

TONG Xinru;ZHAO Zhuo;ZHOU Yanwen(Surface Engineering Institute,School of Materials and Metallurgy,University of Science and Technology Liaoning,Anshan 114051,China)

机构地区：[1]辽宁科技大学材料与冶金学院表面工程研究所,辽宁鞍山114051

出　　处：《辽宁科技大学学报》

基　　金：国家自然科学基金(51672119;51372109)

年　　份：2018

卷　　号：41

期　　号：4

起止页码：241-246

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊

摘　　要：为了增加石墨烯的耐磨性,同时保证石墨烯本身的优良性能,研究采用磁控溅射和真空蒸镀两种方法,在双层石墨烯/PET上制备TiN、GaN和ZnO三种不同材料的保护膜,并对制备出的不同复合薄膜的性能进行研究。结果表明,制备的保护膜表面形貌均匀,三种材料均以非晶态存在于石墨烯表面。真空热蒸镀比较适合用来制备石墨烯保护膜,GaN比较适合用来做石墨烯的保护膜。

关 键 词：石墨烯 复合薄膜  磁控溅射 真空蒸镀

分 类 号：TB34[材料类]