期刊文章详细信息
三氯氢硅制备技术进展
Advances in the preparation of trichlorosilane
文献类型：期刊文章
CHEN Qi-guo;HAN Chun(Jiangsu Zhongneng Polysilicon Technology Development Co.,Ltd.,Xuzhou 221004,China;Xuzhou Nhwa United Chain Medicine Sales Co.,Ltd,Xuzhou 221000,China)
机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 [2]徐州恩华统一医药连锁销售有限公司,江苏徐州221000
年 份：2018
期 号：9
起止页码：16-19
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：综述了硅氯氢化法制备三氯氢硅的研究进展,探讨了反应温度、无水氯化氢与氢气配比、水分等对硅氯氢化反应的影响,同时介绍了四氯化硅氢化和反歧化法制备三氯氢硅最新进展。
关 键 词：三氯氢硅 四氯化硅 氯氢化 氢化
分 类 号：TQ264.11]
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