文献类型：期刊文章

作　　者：朱成林[1,2,3] 韩晓泉[1,2] 冯泽斌[1,2] 胡明庆[4]

ZHU Chenglin;HAN Xiaoquan;FENG Zebin;HU Mingqing(Opto-Electronics Engineering Department,Academy of Opto-Electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,China;Excimer Laser Engineering Technology Research Center of Beijing,Beijing 100094,China;College of Materials Science and Opto-Electronic Technology,University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China;Panda Electronics Incorporated Company,Nanjing 210007,China)

机构地区：[1]中国科学院光电研究院光电工程部,北京100094 [2]北京市准分子激光工程技术研究中心,北京100094 [3]中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京100190 [4]熊猫电子集团有限公司,江苏南京210007

出　　处：《量子电子学报》

基　　金：国家科技重大专项02专项;2013ZX02202~~

年　　份：2018

卷　　号：35

期　　号：5

起止页码：533-538

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2017_2018、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复合控制器超调量减少41%,调节时间减少51%.所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境。

关 键 词：激光技术 温度控制 SMITH预估补偿 准分子激光器

分 类 号：TN248] TP273]