文献类型：期刊文章

作　　者：李文浩[1] 田朝[1] 冯绅绅[1] 宁付鹏[1] 白超[1] 尤江[1] 侯吉磊[1] 孟月东[2] 万树德[3] 方应翠[1]

Li Wenhao;Tian Chao;Feng Shenshen;Ning Fupeng;Bai Chao;You Jiang;Hou Jilei l;Meng Yuedong;Wan Shude;Fang Yingcui(Department of Vacuum and Process Equipment,School of Mechanical Engineering,Hefei University of Technology,Hefei 230009,China;Institute of Plasma Physics,Chinese Academy of Sciences,Hefei 230031,China;Department of Modern Physics,University of Science and Technology of China,Hefei 230026,China)

机构地区：[1]合肥工业大学机械工程学院真空与过程装备系,合肥230009 [2]中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031 [3]中国科学技术大学近代物理系,合肥230026

出　　处：《真空科学与技术学报》

基　　金：国家自然科学基金项目(No.11674081);安徽省自然科学基金项目(No.1708085MA11);合肥工业大学大学生创新项目资助(201610359006)

年　　份：2018

卷　　号：38

期　　号：8

起止页码：695-707

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD_E2017_2018、EI、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、核心刊

摘　　要：大气压等离子体射流(APPJ)能够在开放空间而不是在狭窄放电间隙中产生高活性非平衡低温等离子体,APPJ已经成为国际上等离子体科学与技术领域的研究热点之一。本文首先介绍了4种典型的等离子体射流装置,包括单针、针-环、单双环以及微腔结构,并分析了各自的结构特点。然后介绍了APPJ近几年的研究进展,包括射流装置结构、活性粒子探测方法、射流与外界物质相互作用及应用等方面。最后对APPJ面临的一些关键问题和发展方向进行了展望。

关 键 词：大气压等离子体  等离子体射流 介质阻挡放电 电极结构 纳米薄膜沉积  

分 类 号：TN136] O539]