文献类型：期刊文章

作　　者：龙永福[1,2] 朱自强[1] 赖宗声[1] 郭方敏[1] 石艳玲[1]

机构地区：[1]华东师范大学电子系 [2]常德师范学院物理系,湖南常德415000

出　　处：《电子学报》

基　　金：国家重点基础研究规划项目 (973) (No .G1 9990 331 0 5) ;国家自然科学基金 (No.698760 1 2 ) ;国家杰出青年基金 (No .6992 540 9) ;上海市重点学科项目 (2 0 0 1年 )

年　　份：2002

卷　　号：30

期　　号：8

起止页码：1204-1206

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2002447178522)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文描述了射频 /微波MEMSshunt开关的理论模型和数值结论 .把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动 .给出了典型MEMSshunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值 .根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同 ,得到了典型的MEMSshunt开关的开启时间大约为 1～ 40μs.其计算值同文献 [4 ]的值相符得很好 .本文还讨论了该理论模型和数值计算的局限性 .

关 键 词：MEMS Shunt开关  开启时间  理论模型  数值计算  微机电系统 可动薄膜  

分 类 号：TH－39[机械类] TN304]