文献类型：期刊文章

作　　者：徐辽[1,2] 范青武[1,2] 刘旭东[1,2] 张恒[1,2] 张跃飞[3]

XU Liao;FAN Qingwu;LIU Xudong;ZHANG Heng;ZHANG Yuefei(Faculty of Information Technology,Beijing University of Technology,Beijing 100024,China;Engineering Research Center of Digital Community,Ministry of Education,Beijing 100024,China;Institute for Microstructure and Properties of Advanced Materials,Beijing University of Technology,Beijing 100024,China)

机构地区：[1]北京工业大学信息学部,北京100024 [2]数字社区教育部工程研究中心,北京100024 [3]北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京100024

出　　处：《压电与声光》

基　　金：科技部国家重大科学仪器设备开发专项基金资助项目(2012YQ03007508)

年　　份：2018

卷　　号：40

期　　号：4

起止页码：564-567

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSCD、CSCD_E2017_2018、IC、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：压电陶瓷作为原子力显微镜系统中的执行器件,能够快速跟踪测量样品的形貌。为提高压电陶瓷驱动器的定位精度与响应速度,根据电压控制型驱动电源的原理,以PA85A高压运放为核心器件,设计了一种高精度动态压电陶瓷驱动电源。分析了影响系统精度与动态性能的因素,采用相位补偿法,提高了系统的稳定性。实验结果表明,该电源具有精度高,动态响应快,稳定性强的特点,能有效用于原子力显微镜系统中。

关 键 词：压电陶瓷 电压控制 高压运放  驱动电源 高精度动态  

分 类 号：TN384] TM282[材料类]