文献类型：期刊文章

作　　者：马贺冲[1] 张琪昌[1] 陈涛[2] 李磊[1]

MA Hechong;ZHANG Qichang;CHEN Tao;LI Lei(Tianjin Key Lab of Nonlinear Dynamics and Chaos Control, School of Mechanical Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072,China;Dynamic Machinery Researeh Institute, China Aerospace Science ＆ Industry Corp,Inner Mongolia 010010, China)

机构地区：[1]天津大学机械工程学院天津市非线性动力学与混沌控制重点实验室,天津300072 [2]内蒙动力机械研究所,内蒙古010010

出　　处：《振动与冲击》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11372210;11602169);天津市应用基础与前沿技术研究计划项目(16JCQNJC04700)

年　　份：2018

卷　　号：37

期　　号：13

起止页码：71-77

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MEMS梳齿谐振器是一种高精度微机械电子元件,广泛应用在航天航空、精密测量、国防军事、通讯等领域,其静动力学问题受到研究人员的广泛关注。静电激励力是研究MEMS动力学的基础,但由于梳齿高纵深比的结构特性,其静电力存在很强的边缘效应现象。采用最小二乘法拟合了在边缘效应基础上梳齿结构静电力的模型,分析了边缘效应对MEMS梳齿谐振器动力学行为的影响。探讨了梳齿微谐振器的横向稳定性、谐振频率、软硬特性的区分标准以及线性过渡现象的参数表达式。结果表明:边缘效应模型导致系统稳定区间减小,经典模型高估了微梳齿谐振器的振动稳定性;边缘效应会导致系统固有频率的减小,软化行为增强,线性过渡电压减小;随着梳齿初始间距的增大,系统的线性过渡下的最优设计电压逐渐变大,对应谐振频率逐渐减小。

关 键 词：梳齿  边缘效应  最小二乘拟合 稳定性

分 类 号：O322]