文献类型：期刊文章

作　　者：张齐元[1] 韩森[2,3] 唐寿鸿[2,4] 王全召[4] 姜志华[5]

ZHANG Qi-yuan;HAN Sen;TANG Shou-hong;WANG Quan-zhao;JIANG Zhi-hua(School of Optoelectronic Engineering ,Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China;College of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China;Suzhou H＆L Instruments LLC, Suzhou, Jiangsu 215123, China;Suzhou W＆ N Instruments LLC, Suzhou, J iangsu 215123, China;Division of Mechanics and Manufacture Measurement Technology, Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, Shanghai 201203, China)

机构地区：[1]长春理工大学光电工程学院,长春130022 [2]上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093 [3]苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123 [4]苏州维纳仪器有限责任公司,江苏苏州215123 [5]上海市计量测试研究院机械与制造计量技术研究所,上海201203

出　　处：《光子学报》

基　　金：国家重点研发计划(No.2016YFF0101903)资助~~

年　　份：2018

卷　　号：47

期　　号：7

起止页码：101-108

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于Zernike多项式波前拟合法,提出计算离焦位置任意波长透射波前Zernike系数的算法,在聚焦位置Zernike系数基础上补偿离焦距离内Zernike系数变化量.以典型的消色差望远物镜为例,根据设计波长及权重优化其工作位置,计算不同波长的聚焦位置与工作位置的离焦量,使用该算法验证消色差系统工作位置任意波长Zernike系数.与在工作位置直接使用Conrady-Zernike公式对比表明,该算法对于与位置有关的Zernike系数计算效果明显,Z1的绝对误差由6.78降低到了1.41,Z4的绝对误差由6.83降低到了1.45.

关 键 词：波前检测  Zernike系数  离焦  波长 消色差

分 类 号：O436.1]