文献类型：期刊文章

作　　者：陈方涵[1] 赵光宇[2] 蒋仕龙[1]

CHEN Fang-han;ZHAO Guang-yu;JIANG Shi-long(Laboratory of Motion Control Technology, PKU HKUST Shenzhen-Hongkong Institution, Shenzhen 518057, China;Center for Optics and Electromagnetic Research, South China Academy of Advanced Optoeleetronies, South Normal China University,Guangzhou 510006,China)

机构地区：[1]深港产学研基地运动控制技术实验室,深圳518060 [2]华南师范大学华南先进光电子研究院光及电磁波研究中心,广州510006

出　　处：《光电子．激光》

基　　金：广东省引进创新科研团队计划(201001D0104799318);深圳市未来产业专项资金(JCYJ20150402104008943)资助项目

年　　份：2018

卷　　号：29

期　　号：7

起止页码：746-753

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、核心刊

摘　　要：提出了一种基于机器视觉系统的薄膜缺陷检测与厚度测量的方法。该方法通过建立CCD接收到的放置薄膜前后的图像灰度与厚度之间的关系,利用同样的图像采集硬件和不同的软件分析方法,在保证实现最小缺陷0.1mm×0.1mm检测的同时,完成单次66mm×50mm的大范围厚度测量。在基于透射光密度原理进行厚度测量时,为减小测量误差,采用标准密度值标定板对系统进行标定,对计算的理论光密度值进行偏移校正。以四氟薄膜为例,其厚度检测平均误差为5.7%,标准偏差为6.66%。仅需匹配简单的扫描装置,便可在普通的视觉系统上完成薄膜划痕、气泡等表面二维缺陷的识别以及三维轮廓的全场在线测量。

关 键 词：机器视觉 表面缺陷  表面检测  厚度测量 光学密度  在线检测

分 类 号：O432.2] TB96]