文献类型：期刊文章

作　　者：张焕卿[1] 白雪婧[1] 王德波[1]

Zhang Huanqing;Bai Xuejing;Wang Debo(College of Electronic Science and Engineering, Nanfing University of Posts and Telecommunications, Nanfing 210046, China)

机构地区：[1]南京邮电大学电子科学与工程学院

出　　处：《仪器仪表学报》

基　　金：国家青年自然科学基金(61704086);江苏省青年自然科学基金(BK20140890);南京邮电大学国自基金孵化(NY215139,NY217039)项目资助

年　　份：2018

卷　　号：39

期　　号：1

起止页码：110-117

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了提高热电式微机电系统（MEMS）微波功率传感器的灵敏度特性,建立了噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型。根据理论解析模型,分析得到了影响噪声系数、时间常数的首要因素、次要因素;然后,探究了噪声系数和时间常数对灵敏度特性的制约;最终,发现制约热电式MEMS微波功率传感器灵敏度特性的两个关键结构参数：热电偶的长度和数目。依据所建立的理论解析模型,设计了一种渐变结构的热电式MEMS微波功率传感器,实验表明该传感器在8-12 GHz频率范围的回波损耗在-22^-19 dB,具有较好的匹配特性。系统灵敏度分别为0.23 mV/mW@8 GHz、0.22 mV/mW@10 GHz、0.21 mV/mW@12 GHz,较与传统结构的灵敏度特性有了较大改善。因此,所建立的噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型对于研究热电式MEMS微波功率传感器具有一定的参考价值和指导意义。

关 键 词：微机电系统 功率传感器 灵敏度 理论模型  渐变结构  

分 类 号：TH89[仪器类] TN62]