文献类型：期刊文章

作　　者：孙德恩[1,2] 董洪铭[1] Sam Zhang[3] 张晓民[4]

SUN De-en;DONG Hong-ming;Sam ZHANG Singapore;ZHANG Xiao-min(School of Materials Science and Engineering;State Key Laboratory of Mechanical Transmission, Chongqing University Chongqing 400030, China;Faculty of Materials and Energy, Southwest University, Chongqing 400715, China;College of Materials and Mineral Resources, Xi＇an University of Architecture anTechnology, Xi＇an 710055, China)

机构地区：[1]重庆大学材料科学与工程学院,重庆400030 [2]重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆400030 [3]西南大学材料与能源学部,重庆400715 [4]西安建筑科技大学材料与矿资学院,西安710055

出　　处：《表面技术》

基　　金：国家自然科学基金项目(51771037,51671153); 重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2015jcyj A70005); 材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金(2016CL13)~~

年　　份：2018

卷　　号：47

期　　号：6

起止页码：95-103

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：我国汽车行业与国际同行的差距主要在于发动机关键零部件的摩擦磨损。类金刚石(DLC)碳膜技术是解决发动机关键零部件摩擦磨损问题的有效途径,但传统的DLC碳膜在制备过程中会产生较高的内应力(可达10GPa),从而导致薄膜失效。首先分析了DLC碳膜在汽车零部件领域的应用背景,探讨了薄膜内应力的来源,重点综述了异质元素掺杂降低类金刚石碳膜内应力的研究现状。常用掺杂元素按化学性质可分为碳化物形成元素与非碳化物形成元素,不同于其他分类方法,笔者按掺杂元素的组元多少进行划分,从单元掺杂、二元或多元掺杂入手,系统分析了各种掺杂方式、掺杂元素的优缺点。在此基础上,指出元素掺杂降低类金刚石碳膜内应力的研究从最初的单一元素掺杂,逐步发展到了二元或多元元素掺杂;从碳化物形成元素掺杂、非碳化物形成元素掺杂,逐步发展到碳化物形成元素与非碳化物形成元素的多元共掺杂;所研究的类金刚石碳膜的显微结构也从最初的非晶态结构向多元、多相结构发展,以期获得良好的综合机械性能。

关 键 词：内应力 元素掺杂  类金刚石碳膜 纳米复合薄膜 摩擦学性能

分 类 号：TG147[材料类]