文献类型：期刊文章

作　　者：周全[1,2] 张恩亮[2] 白向兴[2] 申钧[2] 魏大鹏[2] 汪岳峰[1,2]

ZHOU Quan;ZHANG En-liang;BAI Xiang-xing;SHEN Jun;WEI Da-peng;WANG Yue-feng(The Army Engineering University of PLA , Shijiazhuang 050003, China;Chongqing Insitute of Green and Intelligent Technology, Chongqing 400714, China)

机构地区：[1]中国人民解放军陆军工程大学电子与光学工程系,石家庄050003 [2]中科院重庆绿色智能技术研究院,重庆400714

出　　处：《光子学报》

基　　金：国家自然科学基金(Nos.11404329;61504148;51402291;61705229);重庆市自然科学基金(No.CSTC2014jcyjjq50004);重庆市基础科学与前沿技术研究专项基金(No.cstc2015jcyj A50018);重庆市基础与前沿研究项目(No.cstc2015jcyj BX0046)资助~~

年　　份：2018

卷　　号：47

期　　号：6

起止页码：18-26

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用二氧化钛薄膜光吸收及表面钝化特性,在硅晶圆基底表面制备石墨烯/二氧化钛异质结场效应管光电探测器,并研究其光电响应特性.结果表明,二氧化钛钝化后的探测器可以有效抑制沟道表面的气体小分子吸附,降低器件的暗电流漂移;同时,探测器利用石墨烯的电荷敏感和复合薄膜的光谱吸收特性,显著提高了石墨烯场效应管的响应度.紫外波段,顶层二氧化钛吸光产生的光生电子将注入到石墨烯沟道中,对石墨烯沟道产生n型掺杂,器件最大响应度可达3.5×10~5A/W.在可见光波段,因为二氧化钛层与石墨烯薄膜间存在杂质能级,界面间的电荷转移使沟道载流子寿命显著提高.相对于传统的二氧化钛阵列探测器,该探测器在响应波段与响应度性能上都具有明显优势.

关 键 词：石墨烯 异质结 场效应管  光电探测器  背栅调制  耦合  载流子寿命

分 类 号：TN324.1]