文献类型：期刊文章

作　　者：蔡昕旸[1] 王新伟[2] 李如雪[1] 王登魁[1] 方铉[1] 房丹[1] 张玉苹[3] 孙秀平[1] 王晓华[1] 魏志鹏[1]

Cai Xinyang;Wang Xinwei;Li Ruxue;Wang Dengkui;Fang Xuan;Fang Dan;Zhang Yuping;Sun Xiuping;Wang Xiaohua;Wei Zhipeng(State Key Laboratory of High Power Semiconductor Laser, Changchun University of Science and Technology Changchun, Jilin 130022, China;School of Materials Science and Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun Jilin 13022, China;State Key Laboratory of Supramolecular Structure and Material, Institute of Theoretical Chemistry Jilin University, Changchun, Jilin 130022, China)

机构地区：[1]长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林长春130022 [2]长春理工大学材料科学与工程学院,吉林长春130022 [3]吉林大学理论化学研究所超分子结构与材料国家重点实验室,吉林长春130022

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：国家自然科学基金(61404009);吉林省科技发展计划(20170520118JH);长春理工大学校创新基金(XJJLG-2016-11)

年　　份：2018

卷　　号：55

期　　号：5

起止页码：330-334

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSCD、CSCD2017_2018、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用直流磁控溅射的方式,在浮法玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。通过改变薄膜沉积时间,制备出不同厚度的ITO薄膜。随着膜厚由16nm逐渐增大到271nm,其结晶程度得到增强,对应的载流子浓度由4.79×1020 cm-3增大到2.41×1021 cm-3,表面等离子体共振(SPR)波长由1802nm逐渐蓝移到1204nm,实现了近红外区域SPR波长较宽范围的可控调节。采用Drude自由电子气模型,对不同厚度ITO薄膜的SPR波长进行了理论计算,进一步证明了SPR波长的有效调节取决于膜厚对载流子浓度的影响作用。

关 键 词：材料  表面等离子体 氧化铟锡薄膜 薄膜厚度 载流子浓度

分 类 号：O531]