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期刊文章详细信息

激光干涉仪在PCB数控机床精度检测中的应用研究    

Application Research of Laser Interferometer in Accuracy Detection of PCB NC Machine

  

文献类型:期刊文章

作  者:贾平平[1]

JIA Pingping(School of Mathematics and Physics, Weinan Normal University, Weinan Shaanxi 714099, Chin)

机构地区:[1]渭南师范学院数理学院,陕西渭南714099

出  处:《机床与液压》

基  金:陕西省教育厅科研项目(15JK1252);陕西省军民融合基金研究项目(16JMR04);渭南师范学院院级科研项目(17YKF05)

年  份:2018

卷  号:46

期  号:8

起止页码:129-131

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2017、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘  要:激光干涉仪已成为PCB数控机床中测量定位与重复定位精度的标准仪器。针对测量数据不稳定的问题,分析激光干涉仪测量原理,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系;对生产现场环境模块数据进行测量,环境模块变化量对波长总的补偿量为0.23μm,与实际误差相比,波长变化导致的误差几乎可以忽略,通过测量得出测量精度不稳定的主要原因是横梁X轴连接杆的变形。针对该原因进行了结构的重新设计,实现了精度补偿及测量的稳定。

关 键 词:定位精度  PCB钻孔机  波长 激光干涉仪

分 类 号:TG659]

参考文献:

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同被引文献:

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