文献类型：期刊文章

作　　者：王宇[1] 张斌[1] 马庆超[1] 刘艺[1]

Wang Yu;Zhang Bin;Ma Qingchao;Liu Yi(Tianjin Research Institute for Advanced Equipment, Tsinghua University, Lubrication and Friction Testing Center, Tianjin 300300,Chin)

机构地区：[1]清华大学天津高端装备研究院润滑与摩擦检测中心,天津300300

出　　处：《分析仪器》

年　　份：2018

期　　号：2

起止页码：164-166

语　　种：中文

收录情况：CAS、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：在使用场发射扫描电镜对非导电性样品形貌进行观测时,图片质量好坏往往与制样方法有关。根据试样状态不同,可以使用搭接导电通路、超声分散、镀膜等方法对非导电性样品进行制备。选择合适的方法对非导电性样品进行制备处理,可以从根源上解决该类型试样的放电问题。

关 键 词：场发射扫描电镜  非导电样品  导电通路  镀膜

分 类 号：TB302.1[材料类]