文献类型：期刊文章

作　　者：张齐元[1,2] 韩森[3,2] 唐寿鸿[3,2] 罗春华[1] 付跃刚[1]

机构地区：[1]长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022 [2]苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123 [3]上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家科技重大专项(2013YQ150829)

年　　份：2018

卷　　号：38

期　　号：2

起止页码：163-170

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：波前像差可以很好地反映光学系统的性能,波前检测结果通常用一组Zernike多项式线性组合表示。透射式光学系统波前需要在特定波长下检测,由于检测仪器的限制,目前只有少数波长的波前可以得到准确检测。提出一种新的思路,通过分析透射波前Zernike系数与波长的函数关系,间接反映波前随波长的变化规律,从而实现任意波长波前的检测。利用Zemax对光学系统建模,采集光学系统在不同波长时的波前Zernike系数,通过Matlab曲线拟合工具寻找Zernike系数与波长曲线可能存在的函数形式,并最终确定了Conrady-Zernike公式。模拟的光学系统使用这种解析式计算所得Zernike系数的最大误差在1%以内。结果表明透射式光学系统的波前Zernike系数与波长之间基本符合Conrady-Zernike公式的关系。

关 键 词：测量  波前检测  Conrady-Zernike公式  曲线拟合  Zernike系数  波长

分 类 号：O436.1]