期刊文章详细信息
扫描电子显微镜及X射线能谱仪的原理与维护
Principles and maintenance of scanning electron microscope and X-ray energy spectrometer
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]深圳大学化学与环境工程学院
年 份：2018
卷 号：0
期 号：3
起止页码：192-194
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：扫描电子显微镜结合X射线能谱仪在化学、物理、材料学、生物、医学等领域的应用中，具有非常重要的地位。本文主要介绍了扫描电子显微镜及X射线能谱仪的工作原理、结构特点，并对仪器的维护与使用方面进行了一定的介绍，与广大同行进行探讨。
关 键 词：扫描电子显微镜 X射线能谱仪 原理 维护
分 类 号：O631]
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