期刊文章详细信息
气体流量与射频功率对电感耦合等离子体温度分布的影响 ( EI收录)
Effect of Gas Volume Flow Rate and RF Power on the Temperature Distribution of Inductively Coupled Plasma
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国地质大学(武汉)自动化学院,复杂系统先进控制与智能自动化湖北省重点实验室,湖北武汉430074
基 金:国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ09016701); 国家重点研发计划(2016YFF0100200)资助
年 份:2018
卷 号:39
期 号:2
起止页码:192-200
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:针对以电感耦合等离子体(ICP)为激发光源的分析仪器,研究ICP的温度空间分布对样品电离和激发具有重要意义。本研究建立了ICP的二维轴对称模型,利用有限元方法解算磁流体力学方程组,得到ICP的最高温度和温度空间分布,并研究了气体(辅助气、冷却气)流量和射频功率对ICP的最高温度和温度空间分布的影响。结果表明,辅助气、冷却气的流量及射频功率几乎不会改变ICP的最高温度(约10 000K),但会改变ICP的温度空间分布;辅助气流量的增大有助于ICP中心通道的形成,样品通过中心通道,有利于样品的原子化和电离;对于矩管直径为20mm的ICP,未通入样品时,运行时的射频功率在理论上不能超过1 600 W,而实际上空载功率可能更低。
关 键 词:电感耦合等离子体(ICP) 温度 有限元 磁流体力学 激发光源
分 类 号:O657.63]
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