期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]合肥鑫晟光电科技有限公司,安徽合肥230012 [2]群龙企业咨询(上海)有限公司,上海200335 [3]合肥乐凯科技产业有限公司,安徽合肥230041
年 份:2018
卷 号:33
期 号:2
起止页码:129-137
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EBSCO、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:Particle Gap是TFT-LCD制程中常见的一种缺陷。以55UHD产品为例,Particle Gap发生率约为1.0%,对产品良率影响较大,为提升液晶屏品质和客户满意度,急需改善此不良。文章结合不良现象研究Particle Gap的主要异物模式,最终通过改善CF研磨失败异物、沙粒状异物和透明状异物这种模式达到整体Particle Gap降低的效果。首先利用流程图分析影响异物模式的关键步骤,然后通过鱼骨图、决策矩阵、假设检验验证找出影响异物模式的显著因素,最后通过合力促进法总结出显著因素的最佳改善方案,导入量产并文件标准化,可平行推广至55UHD以外的其它尺寸。改善结果表明:通过以上3种异物类型的改善,55UHD Particle Gap发生率降低至少30%,为公司带来了巨大且显著的硬性节省。
关 键 词:薄膜电晶体-液晶显示器 PARTICLE GAP CF研磨失败异物 透明状异物 沙粒状异物
分 类 号:TN141.9]
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