文献类型：期刊文章

作　　者：高晓丹[1] 彭建坤[2] 吕大娟[2]

机构地区：[1]武汉东湖学院电子信息工程学院,湖北武汉430212 [2]武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室,湖北武汉430070

出　　处：《红外与激光工程》

基　　金：国家自然科学基金(61575151);武汉东湖学院青年基金(2015dhzk06)

年　　份：2018

卷　　号：47

期　　号：1

起止页码：242-246

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了研制结构简单、成本低、可批量生产的微型光纤温度传感器,分析了薄膜干涉型光纤温度传感器的原理,选用Zr O2和Al2O3两种介质薄膜材料,采用TFCalc膜系设计软件设计了薄膜干涉型光纤温度敏感探头的膜系,由南光ZZS1100-8/G箱式真空镀膜系统采用电子束蒸发技术在普通多模光纤端面蒸镀介质薄膜,形成法布里-珀罗(Fabry-Perot)薄膜干涉,并搭建光纤温度传感测试系统,测试结果表明:在200~600℃范围内,所设计的干涉型光纤温度传感器的测试光谱随温度变化产生一定的波长漂移,且波长漂移的温度特性为线性,线性相关系数为99.7%,灵敏度为8.37×10-6/℃。基于法布里-珀罗干涉的薄膜型光纤温度传感器体积小,成本低,结构紧凑,可批量生产,适合安装位置狭小或对传感器集成化要求较高的场合。

关 键 词：光纤温度传感器 薄膜干涉  法布里-珀罗 波长漂移

分 类 号：TN29]