文献类型：期刊文章

作　　者：聂世琳[1] 管迎春[1,2]

机构地区：[1]北京航空航天大学机械工程及自动化学院,北京100191 [2]北京航空航天大学大型金属构件增材制造国家工程实验室,北京100191

出　　处：《光电工程》

基　　金：国家重点研发计划"增材制造与激光制造"重点专项(2016YFB1102503);科技部973计划(2015CB059900);北京市自然科学基金(39022303139022302);国家自然科学基金(51705013)

年　　份：2017

卷　　号：44

期　　号：12

起止页码：1169-1179

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性,在微细制造中具有独特优势,能够有效提高制造品质。近年来,随着现代电子产业的快速发展,其对生产制造的要求不断提高,紫外激光的应用和发展也受到人们的广泛关注。紫外激光在微加工过程中对材料尺寸形状要求小,加工过程灵活可变,产生的热影响区小,能够实现精密复杂结构的加工。本文介绍了紫外激光器的发展过程,并对目前主要用于微加工的两类紫外激光器:准分子激光器和全固态激光器的工作原理和技术特点进行了简要的概述。重点讨论紫外激光在半导体、光学元件和聚合物等领域的技术发展和应用现状,并进一步对未来研究方向进行预测和展望。

关 键 词：紫外激光器 激光微加工 半导体材料 微光学元件 聚合物  

分 类 号：TN248]