文献类型：期刊文章

作　　者：黄美林[1,2] 鲁圣国[1] 杜文琴[2] 蔡珍[2] 任永聪[2]

机构地区：[1]广东工业大学材料与能源学院广东省智能材料与能量转化器件工程技术研究开发中心,广东省功能软凝聚态物质重点实验室,广州510006 [2]五邑大学纺织材料与工程学院广东省功能性纤维与纺织品工程技术研究中心,广东省高校功能纺织品工程技术研究中心,江门529020

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2017

卷　　号：37

期　　号：12

起止页码：1194-1200

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSCD、CSCD_E2017_2018、核心刊

摘　　要：磁控溅射工艺技术是一种重要的镀膜技术,广泛应用于薄膜材料制备和材料的表面处理,应用于柔性纺织材料的表面镀膜也越来越广。本文主要介绍磁控溅射法在柔性纺织面料上制备纳米薄膜的研究和发展情况,包括镀制金属、合金、化合物或陶瓷、高分子材料等单层或多层薄膜,用以开发功能性纺织品的研究情况。介绍的镀膜包括银膜、铜膜、铝膜、钛膜及其金属氧化膜、聚四氟乙烯膜等。

关 键 词：磁控溅射 功能纺织品 纳米 薄膜  

分 类 号：TB79]