文献类型：期刊文章

作　　者：马云[1] 陈磊[2] 朱文华[2] 刘一鸣[2] 李建欣[2]

机构地区：[1]南京理工大学先进发射协同创新中心,江苏南京210094 [2]南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家自然科学基金(61505082;U1731115);江苏省自然科学基金(SBK2015041354);先进固体激光技术工业和信息化部重点实验室开放基金(30916014112-003)

年　　份：2017

卷　　号：44

期　　号：12

起止页码：200-207

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了实现光学元件相位缺陷的大视场、高分辨率、动态检测,设计了一种动态泰曼干涉仪。该干涉仪采用短相干激光器结合迈克耳孙干涉结构产生1对相位延迟的正交偏振光,以此作为光源,通过匹配偏振型泰曼干涉仪干涉腔的相位差,补偿参考光与测试光之间的相位延迟。利用偏振相机瞬时采集4幅移相量依次相差π/2的干涉图,通过移相算法即可求解得到相位缺陷的信息。利用平面波角谱理论进行仿真,分析了二次衍射对测量结果的影响;利用琼斯矩阵法分析了偏振器件误差对测量结果的影响。实验检测了1块激光毁伤的光学平板,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,相对误差为2.4%。此外,采用所述方法对强激光系统中光学平晶的相位疵病进行检测,测试结果显示波前峰谷值为199.2nm。结果表明,该干涉仪能够有效应用于光学元件相位缺陷的检测。

关 键 词：测量  动态干涉  相位缺陷  空间移相  短相干光源  

分 类 号：TN0]