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磁场溅射+磁场退火对Ce_9Fe_(91)薄膜高频软磁性能的优化
Modified magnetic properties of Ce_9Fe_(91) films fabricated by field-sputtering + field-annealing
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]九江学院理学院江西省固体微结构重点实验室,江西九江332005
基 金:江西省自然科学基金资助项目(20161BAB206104);江西教育科技厅项目(GJJ151070)
年 份:2017
卷 号:48
期 号:6
起止页码:9-13
语 种:中文
收录情况:CAS、普通刊
摘 要:为了研究磁场溅射和磁场退火对材料磁性能的影响,用磁控溅射制备了几组CeFe薄膜,分别为衬底不加磁场的样品(No)和溅射时衬底加磁场的样品(FS),No和FS样品在外部磁场作用下分别在260℃、360℃热退火处理得到的样品。通过比较磁滞回线和高频磁谱,发现No样品磁退火之后各项性能几乎没变化。而磁场溅射的样品矫顽力更大,面内单轴各向异性场也更大,共振频率变化不大。磁场溅射之后再磁场退火显著地降低了CeFe薄膜的矫顽力,增大饱和磁化强度,增高共振频率。因此最有效的方法是同时利用磁场溅射和磁场退火来提高CeFe薄膜的软磁特性和高频截止频率。
关 键 词:CeFe薄膜 软磁性能 面内单轴各向异性 磁场溅射 磁场退火
分 类 号:TM271.2[材料类] O484.43]
参考文献:
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