文献类型：期刊文章

作　　者：曹晶辉[1] 苏宙平[1] 胡莹[1] 胡立发[1] 朱华新[1]

机构地区：[1]江南大学理学院江苏省轻工光电工程技术研究中心,江苏无锡214122

出　　处：《发光学报》

基　　金：上海市全固态激光器与应用技术重点实验室开放课题(2012ADL03);国家自然科学基金(60908041);江苏省研究生创新项目(SJLX16_0492)资助~~

年　　份：2017

卷　　号：38

期　　号：12

起止页码：1675-1680

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为实现45°入射情况下K9基底上双波段截止分色的特性(截止带波长0.5~0.68μm、0.73~0.79μm,通带波长0.83~0.87μm),采用F-P型的带通滤光片膜系结构为初始结构,与常规设计理念相比有效减少了膜层的数量,薄膜的高折材料采用Ti O2,低折材料采用Si O2,以实现双波段截止的目的。膜层的设计层数为23层,总厚度为2.278μm,借助电子束蒸发物理气相沉积法实现了镀制,利用分光光度计对镀制样品的透过率进行评估。测试结果显示,截止区(0.5~0.68μm和0.73~0.79μm)平均截止深度分别达到了12.57%和20.39%,通带0.83~0.87μm波段内的平均透过率达到了91.35%,样品测试曲线与设计相比,"蓝移"将近10 nm。薄膜样品基本实现了设计目标,具有双波段截止、高通带透过率的特性。在环境测试中:薄膜表现出显著的稳定性,膜层间匹配度适宜。该双波段截止分色滤光片能够应用在一些极端的情况下。

关 键 词：光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积  滤光片

分 类 号：O484]