文献类型：期刊文章

作　　者：岳静静[1,2,3] 吴之茂[1,2,3] 木二珍[1,2,3] 罗宏[4] 姜杰[4] 胡志宇[1,2,3]

机构地区：[1]上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240 [2]上海交通大学纳微能源研究所,上海200240 [3]上海交通大学微纳电子学系,上海200240 [4]云南北方驰宏光电有限公司,云南昆明650217

出　　处：《红外技术》

基　　金：云南省科技厅省院省校科技合作专项(2014IB007);国家自然科学基金(5177060654);云南省胡志宇专家工作站(编号:云科合发[2014]5号)

年　　份：2017

卷　　号：39

期　　号：11

起止页码：973-978

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSCD、CSCD2017_2018、核心刊

摘　　要：红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势。

关 键 词：红外热成像 红外探测器 红外显微热成像系统  

分 类 号：TN219]