文献类型：期刊文章

作　　者：钟昌明[1] 邱运灵[1] 陈杰[1] 韩小标[1] 潘郑州[1] 黄溥曼[1] 梁捷智[1] 张佰君[1]

机构地区：[1]中山大学电子与信息工程学院光电材料与技术国家重点实验室,广州510006

出　　处：《半导体光电》

基　　金：国家自然科学基金项目(61574173;61274039);国家重点研发计划项目(2016YFB0400100);广东省对外科技合作项目(2013B051000041);广州市科技计划项目(2016201604030055);佛山市科技计划项目(201603130003)

年　　份：2017

卷　　号：38

期　　号：5

起止页码：639-642

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、核心刊

摘　　要：氮化镓基微盘结构光学谐振腔具有波长选择范围宽、模式体积小和激射阈值低等特点,其在腔量子电动力学、低阈值激光器、生物传感器等方面具有重要的研究价值。通过优化制备微盘的干法刻蚀工艺及选择性湿法腐蚀技术,制备出侧壁陡峭且光滑的高Q值Si衬底GaN基回音壁模式微盘谐振腔,该微盘谐振腔的制备工艺简单、表面损伤小。在室温、266nm短波长激光泵浦条件下,微盘谐振腔激光器实现了激射,阈值为2.85MW/cm2,Q值达到2 161。

关 键 词：GAN 微盘  干法刻蚀 回音壁模式 品质因子 光泵浦  

分 类 号：TN248.4]