文献类型：期刊文章

作　　者：夏铁新[1] 郭刚[1] 詹志杰[2]

机构地区：[1]金卡高科技股份有限公司,浙江杭州310018 [2]浙江省计量科学研究院,浙江杭州310018

出　　处：《工业计量》

年　　份：2017

卷　　号：27

期　　号：5

起止页码：67-71

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：随着对微机电系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向发展。大规模半导体集成技术的不断创新,使基于MEMS技术的气体流量仪表进入规模化生产成为可能。文章对基于MEMS技术的热式流量传感器的原理和JGM系列MEMS家用热式燃气表结构作了简要介绍,重点评述了由荷兰NMi实验室检测的仪表流量误差特性和压力损失特性,以及热式技术应用于燃气计量的耐污染、极小流、噪声干扰、空气与燃气间关系等关键问题。从检测结果可知,该型仪表流量范围度达到1∶250,流量示值误差等主要技术指标满足欧盟MID指令要求。最后对基于MEMS技术的热式燃气表的发展趋势进行了展望。

关 键 词：计量学 膜式燃气表 MEMS 热式燃气表  流量传感器  

分 类 号：TH-39[机械类] TU996]