文献类型：期刊文章

作　　者：马守宝[1] 刘琼[1] 钱晓晨[1] 洪瑞金[1,2,3] 陶春先[1,2,3]

机构地区：[1]上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093 [2]上海市现代光学系统重点实验室,上海200093 [3]教育部光学仪器与系统工程中心,上海200093

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家重点研发计划(2016YFB1102303)

年　　份：2017

卷　　号：37

期　　号：9

起止页码：357-362

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在石英基底上制备了铝(Al)薄膜,同时加热烘烤制备了Al纳米颗粒,研究了不同厚度的Al纳米颗粒的吸收特性。结果表明,随着烘烤温度的上升,Al薄膜的粗糙度越来越大;当温度达到300℃时,Al薄膜完全转化成Al纳米颗粒。在300℃的烘烤温度下,当膜厚从5nm增加到25nm时,薄膜的共振吸收峰红移40nm。这种制备Al纳米颗粒的工艺简单、省时、成本低、效率高。

关 键 词：薄膜  铝纳米颗粒  烘烤温度 表面等离子体共振

分 类 号：TB43]