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化学气相沉积技术与材料制备
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国人民解放军装甲兵工程学院,100072
年 份：2017
卷 号：7
期 号：27
起止页码：288-289
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文主要对化学气相沉积技术的技术手段和原理做出阐述,并对化学气相沉积技术在制备材料领域的一些发展和应用现状,并重点对化学气相沉积技术在对贵金属薄膜以及涂料方面制备的研究成果进行介绍。
关 键 词：材料制备 化学气相沉积 研究进展
分 类 号：TG174.44]
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