文献类型：期刊文章

作　　者：梅增霞[1,2] 张希清[1,2] 衣立新[1,2] 韩建民[1,2] 赵谡玲[1,2] 王晶[1,2] 李庆福[1,2]

机构地区：[1]北方交通大学光电子技术研究所,北京100044 [2]信息存储显示与材料开放实验室,北京100044

出　　处：《发光学报》

基　　金：高等学校骨干教师资助计划资助项目(2000668)

年　　份：2002

卷　　号：23

期　　号：4

起止页码：389-392

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用射频磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了氧化锌薄膜。在室温下测量了样品的XRD曲线、吸收光谱以及光致发光光谱,探讨了气氛中氧气与氩气比对制备薄膜的影响。从XRD谱中可以看出,样品具有较好的结晶状态。另外,样品在紫外有较强的吸收,而其光致发光也是较强的紫外发射,这表明带间跃迁占了主导地位。以上结果说明:用溅射方法制备的ZnO薄膜结晶质量较好,富锌状态有所改善。

关 键 词：制备  ZNO薄膜 光致发光 溅射  氧化锌薄膜 半导体材料

分 类 号：O484] TN304.21[物理学类]